非水溶液等の高度分離精製
半導体の洗浄や乾燥工程などで使用する薬液・溶媒などの水以外の液体の高純度化要求に応えるイオン交換樹脂を開発しました。たとえば、フォトレジストや溶媒などの有機系、CMP材料や過酸化水素などの無機系の材料に対し、腐食などの原因となる金属イオンなど不純物の除去や含水率を低減させることにより、歩留まりの向上に貢献する技術です。半導体産業の盛り上がりとともに、よりニーズが高まる技術として注目されています。
創業者・丸山正武が陸軍で研究したイオン交換樹脂は、戦後の燃料不足のなかでも動く蒸溜水製造装置へと結実しました。
オルガノの核は創業以来、不要な成分を取り除き必要な成分を極限まで取り出す「分離精製技術」。その精度を確かめるため、品質を見える化する分析技術も自ら育ててきました。
最先端に挑むからこそ、自分たちで確かめ、品質を証明し続ける努力を重ねながら、社会に役立つ技術へと磨き続けています。
自然界の物質の多くは複数成分が混ざり合った混合物です。
一方、1種類のみで構成された純物質や特定成分を除いた物質は、工業製品や医薬品を安定的に製造するうえで高い価値を持ちます。
オルガノのコアテクノロジーである分離精製技術とは、
混合物から狙った成分を分け取り、
不要成分を除去して純度を高める技術のこと。
その手法は膜ろ過、イオン交換、吸着などさまざまです。
主な技術手段
オルガノの分離精製技術には、大きく2つの役割があります。第一に「不要な成分の分離・除去」です。半導体製造に使われる超純水では、水中の不純物を1ppt(1兆分の1)以下という極限レベルまで取り除き、製品の品質を守ります。第二に「有用成分の回収・高純度化」です。例えば、独自の晶析技術を活用した「エコクリスタ」では、工場排水に含まれる廃フッ酸から高純度なフッ化カルシウムとして回収し、再び半導体原料として再利用する「資源循環(サーキュラーエコノミー)」を実現しています。
例えば)
半導体製造用に、不純物濃度1ppt以下という極限まで不純物を除去した超純水を生成します。
例えば)
工場排水に含まれる有用成分を回収し
再び半導体原料として利用
長年、オルガノが分離精製技術を用いて研鑽してきたのは水処理の分野です。水に含まれる不純物は、目に見えるゴミから、水に溶け込んでいるイオン、細菌、ガス成分まで、大きさも性質もさまざまです。これらすべてを一つのフィルターで取り除くことはできません。
そこで、膜ろ過、イオン交換、吸着、電気透析など、性質の異なる複数の分離精製技術を最適な順番で組み合わせ、狙った不純物を確実に除去していきます。原水の水質と求める純度に合わせて、この組み合わせをデザインする力が私たちの強みでもあります。
世界最大級の拠点で生み出される、
直径1mmのハイテク素材
イオン交換樹脂
世界最大級の拠点で生み出される、
直径1mmのハイテク素材
イオン交換樹脂
イオン交換とは、水に溶け込んだ極微量なイオン成分を取り除く技術で、オルガノを代表する技術のうちのひとつです。粒状のイオン交換樹脂を用い、理論純度に近い超純水へと仕上げます。
特に、半導体工場や原子力発電所で求められる超純水の精製に強みがあり、世界最大級のイオン交換樹脂の精製専用工場で、独自の精製を施しています。
また、イオン交換樹脂は飽和すると処理能力が停止するため、交換または薬品による再生が必要です。多くの企業が樹脂の再生工場を持たないなか、オルガノは専用工場で提供から再生まで一貫して対応。さらに、電気再生式脱塩装置(EDI)によるイオン交換では、薬品不要で環境に優しく、管理効率も向上させます。高品質なだけでなく、安全性や運用効率を考慮した製品を提供しています。
限りなく「H₂O」に近づけた、
不純物が限りなくゼロに近い水
純水・超純水精製技術
限りなく「H₂O」に近づけた、
不純物が限りなくゼロに近い水
純水・超純水精製技術
純水とは「不純物が少なく、純度の高い水」のことです。超純水は、そこにさらに複数の要素技術を組み合わせることで、限りなくH₂Oに近い高純度を実現した水を指します。
水に溶け込んでいる不純物は、大きさも性質もさまざまであり、一つのフィルターだけですべてを取り除くことはできません。そのため、原水の水質とお客さまが求める純度に応じて、狙った不純物を確実に除去することが求められます。わたしたちの強みは、それを実現する高品質な要素技術を幅広く備えていること、そしてそれらの順番や組み合わせを最適に設計できることです。
ナノ単位で微細加工を行う半導体製造において、超純水は高い洗浄力によってウェーハ上の微粒子や残留成分を徹底的に洗い流し、製品の品質を支えています。わずかな不純物であっても欠陥の原因となるこの領域で、わたしたちは超純水の品質において確かな信頼を獲得し、高いシェアを誇っています。
世界初、10ナノメートルの微粒子を捉える
市販機器の限界を超えたその先へ
高度分析技術
世界初、10ナノメートルの微粒子を捉える
市販機器の限界を超えたその先へ
高度分析技術
不純物を極限まで取り除くためには、まず「何が・どのくらい含まれているか」を正確に知る必要があります。たとえば、半導体製造で求められる超純水の水質レベルは非常に高く、市販の計測器では測れないほどの微量な世界です。だからこそオルガノは、独自に分析技術を磨き上げ、目に見えないリスクを可視化することにこだわっています。わたしたちの高い分析技術自体が納入する超純水製造装置の品質を担保するのです。
当社開発センターでは、最新鋭の分析機器で装置の性能や水質を確認するとともに、分析技術の開発を継続。独自開発した膜を利用して世界で初めて10nm(1億分の1メートル)サイズの微粒子を計測することに成功しました。新規開発した膜、ろ過技術と連続自動観察技術を用いることで10nm微粒子の分析を実現し、半導体製品の品質・歩留まり(良品化率)の向上に貢献しています。